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                赛默飞SEMICON锦囊打包,全方位满足您的分析需求
                点击次数:1374 发布日期:2019-3-26  来源:本站 本站原创,转载请¤注明出处

                2019年3月22日,历时三天的SEMICON CHINA 2019展会在上海完美落下而他帷幕。赛默◣飞拥有行业领先的全方位解决方案,为半导体及相关行业关键环节提供多层☆次技术支撑。半导体行业分析利器——Thermo Scientific™ iCAP™ TQs(三重四极杆)ICP-MS的亮相,吸引众多观众驻足交流学习。

                 

                赛ω默飞展台

                 

                半导体行♂业的发展,引领全球生产力的发展。1984年个祖龍人电脑开始普及、1990年互联网∞诞生、2002年3G通信时代来临、2007年智能手机ω 诞生,这力量也不應該這么恐怖啊心中卻是更加震驚些时间节点上的变化,其实都有半导体行业的“大进展”。全球GDP的增长,半导体的影响可谓功不可没。

                 

                硅晶片是应用最广泛的※半导体基材,工〓业上使用对其纯度要求特别高,通常需要在99.9999999% 以上。在生产↑制造过程中,通常需要对其纯度进行检测。常用硅纯】度检测的方法如:气相分解电感耦合等离子体质谱轟联用方法(简称 VPD 法),具有业界所需的检测限和稳定性,测试结果快速歸墟秘境可靠。为了得到更加精确的结果」,去除基体溶液中多原子离子的干扰是非常必要的,比如使突破用串接式ICP-MS iCAP™ TQs

                 

                iCAP™ TQs ICP-MS助力半导体发∑ 展

                赛默飞专业●技术团队和销售团队现场与观众进行深入探讨交█流,为靈魂之力半导体行业的发展贡献一份力量。

                 

                领略TQ技术高效的干扰消除能力,确保准确可靠的测试结@果

                • 利用多达四种不同的△碰撞反应气体和独特的Reaction Finder技术来〒简化方法开发步骤。无需拥有复杂反应化学的高深知识水元波不過是三級實力,Reaction Finder帮您完成一切

                • 综合反应气体①处理功能,确保仪器操作□ 安全可靠

                • 采用预设的单模式动第四百七十九能歧视效应(KED),简便、快速、可靠地获得SQ的分析结果

                • 在单个样品的分析中轻松实现从SQ到TQ模式◣的切换,保证最大的分析灵活性,为完整分析提供最佳结果

                 

                点击查看轟在這綠色石頭之上大图

                 

                多层次技术╳支撑全方位满足您∴的分析要求

                 

                 

                一、痕量金属及无机元↘素杂质检测方案

                1. ICP-MS 检测¤解决方案

                Thermo Scientific™ ICP-MS 产品包括Thermo Scientific™ iCAP™ RQ (单四极杆) 和 Thermo Scientific™ iCAP™ TQs(三重四极杆),可轻松实现:

                1)高纯试剂(清洗剂和刻蚀剂)中痕量元素杂质实验室和在线√分析;

                2)单晶硅锭Ψ 和晶圆中痕量元素分析;

                3)wafer 表面痕它看著瘋狂咆哮量元素分析。

                 

                ICAP RQ

                 

                ICAP TQ

                 

                2. 高分辨 ICP-MS 检测解决方∞案

                HR-ICP-MS 是以电磁场和静电⌒ 场作为质量分析器,结合专利的固定分辨率狭缝◥技术实现高质量分辨率一個都不能活著離開的ICP-MS。采用高分辨ICP-MS 分析半导体级别试剂中杂质元素蟹耶多眼中掠過一絲驚訝更简单方便,高分辨ICP-MS 具有更强的▼抗干扰能力。

                ELEMENT™ 系列 ICP-MS

                 

                二、痕量离子态杂质检测方案

                1. 离子色谱IC)检测解决方案

                赛默飞提供世界最先进的离子沒一個簡單色谱和相〗关技术为高纯水痕量阴阳离子分析的离线和在线ζ 监测、半导体㊣表面痕量阴阳离子污染分析、高纯试剂中离子杂 质和工作场所空气中痕量离子态物质的分析提供解决方案。尤其是高纯水,几乎】半导体生产的所有过程均需要使用,因此其质量◇非常重要,如ASTM 和SEMI 对高纯水中杂质离子有不同的明确限值要求。

                 

                通过董老赛默飞离子色谱,采用大定量环◎上样,可实现高纯水⊙中ppt 级這第一個消息别杂质分析:

                 

                Dionex™ ICS-6000多功能高压离子色谱

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                发布者:赛默飞◤世尔科技(色谱与质◣谱)
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                E-mail:menglu.xing@thermofisher.com


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